设为首页 设为首页 加入收藏 加入收藏 网站地图
[请登陆][免费注册]
搜 索

您的位置 :首页 技术 设备材料
设备材料
泛林集团自维护设备创生产率新纪录
出自:大快3彩票产业网

与客户携手共创刻蚀系统运行时间的行业新标杆

近日,泛林集团宣布其自维护设备创下快3彩票行业工艺流程生产率的新标杆。通过与领先快3彩票制造商合作,泛林集团成功实现了刻蚀工艺平台全年无间断运行。

在当今快3彩票工艺环境中,平均清洗间隔时间是限制刻蚀系统生产率提高的主要因素。为了保持稳定的性能,通常需要每月、甚至每周清洗刻蚀工艺腔室,并更换被等离子体工艺腐蚀的部件。2019 年 4 月,泛林集团与客户携手达成了一项宏伟目标,实现设备在无需维护清洗的情况下连续运行 365 天,创下里程碑式纪录。



泛林集团自维护设备创生产率新纪录

泛林集团刻蚀产品事业部高级副总裁兼总经理 Vahid Vahedi 表示:“这一突破性成就彰显了泛林集团专注客户合作,帮助客户解决最具挑战性的技术和生产率问题。泛林集团致力于提供符合工业 4.0的技术,使芯片制造企业的生产过程更快速、更准确、更高效。这一新的行业标杆印证了自维护设备可以减少人工劳动,提高生产效率。”

通常,刻蚀工艺模块需要定期维护并更换耗件。更换和清洗部件必须打开腔室完成,在关闭腔室时需要重新验证腔室环境,既耗时又费力,不但影响了产量,还需依靠复杂的调度安排。利用自维护解决方案,设备可自主决策需要更换部件的时间,且无需打开腔室即可自动更换,减少了设备的停机时间,提高了工厂的生产效率。

泛林集团这一创新解决方案包括Kiyo工艺模块、采用真空传输可更换边缘环的Corvus R系统、拥有使用寿命更长的腔室组件、以及经过优化的无晶圆自动清洗技术。其中,实现这一空前生产率的关键在于Corvus R系统,它是业界首个可自动更换耗件的系统。长期以来,刻蚀工艺一直存在边缘环腐蚀的问题,需要频繁打开腔室更换部件。Corvus R无需打开腔室,即可自动更换新的边缘环。

这一技术是泛林集团Equipment Intelligence 解决方案的一部分。该解决方案集成了关键元件,并可创建自感知、自维护和自适应的设备与工艺。此外,Equipment Intelligence解决方案整合了机器学习、人工快3彩票官网和自动化、自感知的硬件与工艺,有望提高生产效率,改善产品性能,加速行业创新。

 

 

0
文章收入时间: 2019-05-07
 
SEMI简介 | About SEMI | 联系我们 | Privacy Policy | semi.org
Copyright © 2018 SEMI®. All rights reserved.
沪ICP备06022522号
沪公网安备31011502000679号